光刻UV-LED曝光系统| Primelite高级UV-LED光引擎

ALE/1C UV-LED曝光系统提供最高的输出水平、与1kW和2kW汞弧光灯的照明功率相匹配。

Primelite的先进光引擎ONE C （ALE/1C）是一种用于多用途工业应用的高强度非相干聚光光源。它基于UV-LED技术、具有优于传统高压汞放电灯的各种优势、如降低功耗并抑制发热、延长使用寿命、以及减少整体设置的维护。

ALE/1C UV-LED曝光系统建立在一个平台概念上、在其光路中最多可以结合三个UV-LED发射极。这些光源通常用于光刻加工（半导体制造）和工业光固化应用。

我们的ALE/1C系统是在慕尼黑开发和制造的——德国制造、品质保证。

亮点

内置式解决方案可实现最高效率和性能
高达50W的宽频带曝光（UV-LED 350-450nm）
闭环控制输出
不会过时的无汞光源
LED工艺稳定性和总拥有成本优势
德国制造、品质保证

面向最佳原始设备制造商集成的分布式设置

ALE/1C装置遵循分布式设计方法、通常由一个控制子系统（CSS）和一个或多个独立的曝光子系统（ESS）组成。其个头非常小、但功能非常强大：UV-LED曝光头的设计原则便于将其直接集成到贵方的设备中。曝光子系统的通光口可以与各种可用的光导管、光导和附加的（也可是定制的）光学器件相结合。

控制子系统（CSS）

有两种可用的控制子系统：作为独立单元和4U 19”机架式单元的系统所有版本的ALE/1C CSS都具有相同的控制接口、冷却系统连接器和系统状态指示器。此外、机架安装版在前面有一个曝光测试键开关、在没有外部控制信号的情况下可通过该开关激活光输出。

曝光子系统（ESS）

ALE/1C光引擎是光管耦合的点光源。该系统具有一个紧凑的曝光子系统（ESS）、可以很容易地集成到您正改造的现有设备或新的设计中。连接到一个单独的控制子系统（CSS）、这个UV-LED光引擎提供了控制和驱动固态发射极所需的所有硬件和软件、以及所有所需的光学组件。

光出射选项和光学器件

我们提供与ALE/1C ESS结合的柔性液体光导、光导管、均化器和聚光光学器件。如果您需要长距离传输高功率辐射、提高均匀性或想要调整输出辐射的准直角度、这些组件特别有用。请查看我们的页面 Primelite的高性能光学器件了解更多信息。

带有365nm、405nm和435n UV-LED的标准光刻装置

标准ALE/1C装置组合了峰值波长在汞光谱的i-、h-和g-线（365/405/435nm）附近的UV-LED发射极。无论您是想在不改变滤光片的情况下切换波长、还是想要自定义输出光谱的组分、或想要利用非常强的宽频带曝光、我们的ALE/1C为您提供最高的基于UV-LED的辐射输出、其光谱范围为350nm至450nm。

我们的ALE/1C的总输出高达40W或高达50W、在冷却回路中增加了一个外部冷却器。

Primelite的先进UV-LED光引擎ONE C：光谱 — Primelite的先进UV-LED光引擎ONEC：光谱

辐射输出（W）	宽频带	i线
	(350-470 nm)	(350-385 nm)

Primelite的UV-LED光源¹
ALE/1C （w/外部冷却）光学器件 : Ø8.0mm HEX AR	50	21
ALE/1C（标品）光学器件 : Ø8.0mm HEX AR	40	17
ALE/1C（标品）光学器件 : Ø6.5mm RND AR	35	14

汞弧灯
1000W型	37	17
500W型	19	9

¹ 可能偏差为±10%

ALE/1C系统的光谱组成有多种选择。最多可组合3个LED模块：可使用近UV（365、385、405、435nm）、VIS（470、520、620、660、690nm）和NIR-LED发射器极（730、770、810、850、970nm）。

系统属性及规格

包括发射极	最多3个365nm至970nm的LED
总辐射输出¹	高达40W（50W时需安装外部冷却器）
输出光强¹	不超过100000mW/cm²
数值孔径	可变、取决于聚光光学器件
控制配置	独立的LED电源管理和预设高分辨率强度调整（20-100%） LED上升时间约为1ms 通过内部或外部信号持续监控光输出和反馈控制
通信接口	USB：ALE/remote（ALE PC软件） PLC：离散接口现场总线：根据客户要求（例如、CANopen）
热管理	内部液体冷却外部冷却（可选）、用于提高光输出水平
尺寸（宽×高×深）	ESS：20cm×13cm×20.5cm（7.9″×5.1″×8.1″） CSS：20cm×15cm×45cm（7.9″×5.9″×17.7″） CSS（机架）：44cm×18cm×37cm（17.3″×7.1″×14.6″）
重量	ESS：5kg（11lbs） CSS：9kg（20lbs） CSS（机架）：10kg（22lbs）
电源输入	110-240V交流电源 / 50-60Hz / 1000W
光出射选项	六角形、方形和圆形光导管（即Ø6.5mm和Ø8.0mm）定制聚光器或聚焦光学器件
¹ 光导管末端（Ø8.0mm、六角形防反射涂层）测得的全谱；±10%的偏差。

其它特点和优势

前所未有的可用性和过程控制

只需几分钟就能完成单元和内部发射极的初始设置。
高分辨率强度调节和反馈控制的功率输出保证了曝光过程中前所未有的精度和稳定性。
ALE/1C速度极快、输出上升时间不到1毫秒。
设置每个LED模块和一般曝光参数的广泛可能性、帮助您管理应用程序和启用新的应用程序。
终端用户可以自行执行长LED使用寿命和一分钟的LED交换、这将极大地减少设备停机时间。

标准通信接口

ALE/1C拥有不会过时的数据接口及其面向网络的电子组件和软件设置、这将允许（自动化）生产环境中的无缝集成。
除ALE/remote PC 软件显示直观的用户界面外、ALE/1C还支持多种标准界包括外接触摸屏、离散可编程逻辑控制器接口和现场总线。