Primelite的UV-LED光源在晶圆边缘曝光中取代了汞弧灯。

晶圆边缘曝光是使用光刻步进式曝光机和扫描仪的大量半导体制造中的一个普遍工艺步骤。在先进封装设置中优化产量(例如、使用1X步进式曝光机技术)是采用这一额外的高强度曝光工序的主要驱动力、该工序中会单独处理晶片边缘。

晶圆边缘曝光装置可以作为一个独立的单元连接到半导体晶圆轨道、也可以直接集成到步进式曝光机设备中。晶圆边缘曝光装置由一个扫描装置和一个晶圆旋转装置、以及一个与强大的点光源相结合用于成型曝光的光学系统组成。


Primelite的先进UV-LED光引擎在晶圆边缘曝光中的应用
Primelite的先进UV-LED光引擎在晶圆边缘曝光中的应用

Primelite的 ALE/1 系统是晶圆边缘曝光的完美UV-LED解决方案、是唯一一个具有高功率宽带输出的UV-LED点光源、与汞弧灯的相关i线、h线和g线光谱(365/405/435nm)相匹配。

我们的UV-LED光源的多光谱特性允许用环保的LED技术代替汞灯。此外、我们具有即时开/关(0到100%、低于1毫秒)的闭环反馈控制系统可一直确保高精度曝光结果。我们对所有光源的模块化设计使维护快速简单、因此可以尽可能减少停机时间。



晶圆边缘曝光用ALE/1.3

此版 ALE/1 结合了i、h和g线光谱(365/405/435nm)的所有波长、适用于宽频带应用。无论您是想在波长间切换、还是想使用更宽的光谱、ALE/1.3都能够为您提供350nm至450nm光谱范围内的最高辐射输出。


Primelite的先进UV-LED光引擎ONE:光谱(ALE/1.3 365/405/435nm)
Primelite的先进UV LED光引擎ONE:光谱(ALE/1.3 365/405/435nm)


ALE/1 UV-LED光源的辐射输出
 

ALE / 1匹配或超过传统晶圆边缘曝光系统中使用的200W,350W和500W灯的输出强度。

 
发射极3个LED(波长365、405和435nm)1
辐射输出2 (mW)ALE/1ALE/1+ALE/1+
光导Ø5.0 mmØ6.5 mmØ6.5 mm AR3
365 nm6,5009,0009,500
405 nm6,5009,50010,000
435 nm4,5006,5007,000
合计17,50025,00026,500
 
1 发射极的中心波长(CWL):367.5±2.5nm、402.5±2.5nm和435.0±2.5nm; 2 光导(1.5m长)末端测得的各发射极全光谱、可能偏差为±10%; 3 可提供带抗反射涂层的光导。



亮点——为什么ALE / 1专为UV-LED晶圆边缘曝光系统设计

  • 光纤耦合UV-LED光源、易于集成
  • 最高强度可达100000mW/cm²
  • 单波长和宽频带曝光/i线、h线和g线(350-450nm)
  • 闭环反馈控制系统可以确保提供稳定、精确、一致的输出
  • UV-LED技术的使用寿命长且具有总拥有成本优势
  • 与放电灯不同、操作安全性得到改进
  • 不会过时的无汞光源、无需高昂的废物处理费用